气体流量测量和校准的原理与实践

气体流量测量和校准的原理与实践 一、气体流量校准的基本公式 二、气体流量校准的基本原理 进行比较法流量测量的重要因素 质量流量与体积流量 : 设备和单位 泄露对测量的影响 建立稳定气流状态的重要性 硬件配置注意事项 基标准和二级标准 福禄克流量校准中

气体流量测量和校准的原理与实践
一、气体流量校准的基本公式

二、气体流量校准的基本原理
•进行比较法流量测量的重要因素
•质量流量与体积流量: 设备和单位
•泄露对测量的影响
•建立稳定气流状态的重要性
•硬件配置注意事项
•基标准和二级标准
•福禄克流量校准中的新内容

三、基本假定:

对于顺序连接的流量参考设备和被测设备, 通过每个部分的流量是相等的。

此假设至少依赖于三个因素

1.测量的量是质量
2.无泄漏
3.排除了瞬时影响(稳定状态流量)

体积流量和质量流量
•体积流量是体积比时间:qv=cc/min
•质量流量是质量比时间:qm=g/min
•标准质量流量: 质量流量单位常被表示为某种标准状态下的体积流量单位:
• sccm, slm, sm3/h 是质量流量单位.
• cc/min, ccm, or accm 是体积流量单位.
提示:表示为体积流量单位的质量流量单位是测量误差的常见来源.

问题1: 气体流量测量的根本是基 于质量流量还是体积流量？

理解标准质量流量单位(sccm, slm)

在两种不同压力和温度条件下（密度）的1      毫升(cc) 体积

每个体积内的质量（分子数量）是不同的. 标准状态毫升(standard   cubic     centimeter,  scc) 定义标准状态下（压力和温度）每毫升的质量

为什么是质量流量?
几乎所有的气体流量都依据于质量流量，不是体积流量.
质量流量对一下应用是非常重要的:
• 运输监护
• 气体混合
• 化工 / 生物反应
• 泄漏率监测
• 化学蒸汽沉积 / 蚀刻...
质量流量对体积流量
质量流量是守恒的:        qm1 = qm2

在密闭系统中，气体密度随温度和压力的变化而改变。

必须知道气体密度才能进行准确、直接的气体流量比较测量!

问题2: 可否使用质量流量标准器 对体积流量仪表进行校准？

质量流量对于体积流量

qm   =       qv     • ρ